電子線加熱の２蒸着系を装備 高真空中(10-7 Torr)で2種類の物質を同時蒸着 蒸着レート：水晶振動子膜厚モニタ・コントローラで制御 プログラム作成により、多層膜も作製可能 基板温度：加熱可能温度650℃
