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204. 走査型プローブ顕微鏡(SPM)

機種名	マルチ対応小型プローブ顕微鏡ユニット AFM5200S プローブステーションAFM5000�U (日立ハイテクノロジーズ)
性　能	スキャナーFS-20N スキャナーFS-150N ズーム機能付顕微鏡(CCD付) SIS形状ソフトウェア KFMソフトウェア LMFFMソフトウェア

 

特記事項

・測定に必要な消耗品(基板、ガス等)は、利用者で準備する

・操作を熟知した利用者が自ら操作することを原則とする