229. 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

機種名	電界放出型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) 高分解能電界放出型走査電子顕微鏡 (Hitachi S-4800 Type2) エネルギー分散型X線分析装置 (EDAX GENESIS XM2)
性　能	超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡S-4800 Type2に、エネルギー分散形Ｘ線分析装置GENESIS XM2を組み込んだシステムである。超高分解能のSEM機能を活かし、固体試料の表面の超微細な形態観察、組成元素分析を行うことができる。 SEM機能　分解能1.0 nm / 15 kV, 2.0 nm / 1 kV, 　リターディング機能：1.4 nm /1 kV 　極低照射電圧(100～500 V)での観察が　可能　ビームダメージ、チャージアップの低減　倍率：×20 ～ ×800,000 　試料サイズ：　φ26×H24 mm～φ150 mm×H8 mm 　(5軸モーター駆動台付き大型試料室) Ｘ線分析機能検出範囲Be(3) ～U(92)・元素マッピング

機種名

電界放出型走査電子顕微鏡
(FE-SEM)
高分解能電界放出型走査電子顕微鏡
(Hitachi S-4800 Type2)
エネルギー分散型X線分析装置
(EDAX GENESIS XM2)

性　能

超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡S-4800 Type2に、エネルギー分散形Ｘ線分析装置GENESIS XM2を組み込んだシステムである。超高分解能のSEM機能を活かし、固体試料の表面の超微細な形態観察、組成元素分析を行うことができる。

SEM機能

　分解能1.0 nm / 15 kV, 2.0 nm / 1 kV,

　リターディング機能：1.4 nm /1 kV
　極低照射電圧(100～500 V)での観察が
　可能
　ビームダメージ、チャージアップの低減

　倍率：×20 ～ ×800,000

　試料サイズ：
　φ26×H24 mm～φ150 mm×H8 mm
　(5軸モーター駆動台付き大型試料室)

Ｘ線分析機能
検出範囲Be(3) ～U(92)・元素マッピング

特記事項

・装置に悪影響を与える恐れのある試料は測定できないことがある
　磁性のある試料・粉末試料・揮発性成分を含む試料・未知試料

・FE-SEMの操作に熟知した利用者が自ら測定することを原則とする