210. 高性能光電子分光分析(XPS)装置

機種名

高性能光電子分光分析装置
(島津製作所)

性　能

Ag3D5/2 ピークでＸ線出力：Mg Kα 15 kV 30 mM　
エネルギーアナライザー
　型式　180゜静電半球型
　エネルギー範囲　0-1500 eV
　透過エネルギー範囲　5-320 eV
X線源
　0-450 W(Mg)　
　Mg/Al デュアルアノード
エッチングイオン銃
　型式　差動排気方式
　加速電圧　500 V-5 kV
　ラスター範囲　10 mm×10 mm
　ビーム径　125 μm-1.0 mm　可変
データ処理装置付

分析径FWHM	0.80 ev	1.0 ev	1.3 ev
Survey	300,000 cps	4,000,000 cps	8,000,000 cps
Slot	200,000 cps	2,000,000 cps	4,000,000 cps
120 μmφ	45,000 cps	200,000 cps	400,000 cps
60 μmφ	14,000 cps	75,000 cps	150,000 cps
30 μmφ	2,000 cps	10,000 cps	20,000 cps

特記事項

・装置の操作を熟知した者、又は、講習会に参加し利用登録を許可された者に限る

・誤操作により修理が必要になった場合には、該当利用者が修理代を支払うものとする

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