金田 和博（Kazuhiro Kaneda）

主な研究課題

機能性薄膜およびその形成法に関する研究

機能性薄膜、特に金属酸化物薄膜は、光触媒、高誘電率、透明導電性等のユニークな特性を持っている。このような背景のもと、金属酸化物を電気分解の電極として用いることにより、水質浄化や空気浄化に有効な活性酸素種を高効率に生成することを見出し、最適な金属酸化物の見極め、機能発現メカニズムの解明に取り組んでいる。
また、上記薄膜の形成法として、スパッタ法、陽極酸化法、湿式法などに注目し、最適な形成条件とその原因の検討を行っている。

主な著書・論文

• n-Type TiO2 Thin Films for Electrochemical Ozone Production
  ：J. Electrochem. Soc., 157 (2010) F30.
• A Tantalum Oxide Electrode for Electrochemical Ozone Generation
  ：ECS Transactions, 6 (2008) 33.
• Ti/Pt/(Pt-TaOx) electrode fabricated by thermal decomposition and Si/Pt/TaOx fabricated by sputtering for ozone generation
  ：Jpn. J. Appl. Phys., 45 (2006) 5154.
• Synchrotron Radiation-Excited Etching of W, Ta and Their Oxide Films ：Appl. Phys. Lett., 64 (1994) 1045.
• Physical Properties of Tungsten Oxide Films Deposited by a Reactive Sputtering Method
  ：Jpn. J. Appl. Phys., 30 (1991) 1841.

主な国際・国内活動

• 電気化学会会員