目的別
機器センターMachine center
前のページへ戻る教員・学生はもちろん、一般の技術者・研究者も利用可能
機器センターには、大型最先端機器が設置されています。教員、学生の研究活動をサポートするほか、民間企業や公的研究機関の技術者・研究者も利用可能、地域社会にも貢献しています。 機器センターの詳細はこちら高性能光電子分光分析装置
金属、半導体、高分子等の表面にX線を照射し、組成元素の分析、電子状態の解析を行う。半導体デバイスの微細な構造部分の評価にも活用されている。 |
多元同時蒸着装置
原子サイズからミクロンのオーダーまでの薄膜物質を成長する装置。電子材料の開発や薄膜成長技術の研究開発や、集積回路（IC）、半導体メモリ、磁気記録媒体などの基盤技術の研究に用いる。 |
高出力X線構造解析装置
Ｘ線を物質に照射し、ナノオーダーで物質の結晶構造を解析。合成した物質が目的の物質になっているか確認できる。半導体、磁性体、誘電体などの研究に活用されている。 |
電界放出型走査電子顕微鏡
固体表面のナノスケールの超微細な形態や組織構造を最大80万倍で観察できる高性能な電子顕微鏡。半導体、太陽電池、セラミックスなどの材料の形態評価に活用されている。 |
熱分析装置
有機化合物、高分子化合物、無機化合物などさまざまな物質の熱的性質を測定。試料の物理的性質、重量、温度、熱量、変形量から測定。 |
顕微レーザーラマン分光分析装置
Ar+イオン・レーザーの光を試料に照射してラマン散乱光を分光。レーザー光を直径1μmまで絞ることで、試料の微細な部分のラマン分光が可能であり、半導体や超高温材料の研究などに用いる。 |
3Dプリンター・3Dスキャナー
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超伝導核磁気共鳴装置
超伝導マグネットによる磁場での水素、炭素13などの原子核の置かれている磁気的環境から物質の構造を調べられる。有機化学の研究に必要不可欠な装置。 |
透過型電子顕微鏡（TEM）
高コントラストポールピースの採用で、低倍から高倍まで高コントラストで良質な像が得られる。また、トラッカーポールによるステージ操作で、直感的な操作が可能。 |
