目的別
研究機器センターSanyo-Onoda City University
Equipment Center
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教員・学生はもちろん、一般の技術者・研究者も利用可能
研究機器センターには、研究に欠かせない大型の測定装置が設置されています。教員、大学院生、学部学生の研究活動で利用します。民間企業や公的研究機関の技術者・研究者も利用可能な地域社会に開かれた施設です。 研究機器センターの詳細はこちら多元同時蒸着装置
原子サイズからミクロンのオーダーで薄膜を形成する装置。電子材料の開発や薄膜成長技術の研究開発や、集積回路（IC）、半導体メモリ、磁気記録媒体などの基盤技術の研究に用いる。 |
高性能光電子分光分析(XPS)装置
金属、半導体、高分子等の表面にX線を照射し、元素組成の分析、電子状態の解析を行う。半導体デバイスの微細な構造部分の評価にも活用されている。 |
核磁気共鳴(NMR)装置
超伝導マグネットによる磁場での水素、炭素13などの原子核の置かれている磁気的環境を測定し、600MHz型と400MHz型を設置。有機物質の構造分析に用いる。有機化学の研究に必要不可欠な装置である。 |
顕微レーザーラマン分光分析装置
半導体レーザーの光を試料に照射してラマン散乱光を分光。レーザー光を直径1μmまで絞ることで、試料の微細な部分のラマン分光が可能であり、半導体や超高温材料の研究などに用いる。 |
多機能粉末X線解析装置
Ｘ線を物質に照射し、ナノオーダーで物質の結晶構造を解析。合成した物質が目的の物質になっているか確認できる。半導体、磁性体、誘電体などの研究に活用されている。 |
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
固体表面のナノスケールの超微細な形態や組織構造を最大80万倍で観察できる高性能な電子顕微鏡。半導体、太陽電池、セラミックスなどの材料の形態評価に活用されている。 |
ストップトフロー分光測定装置
ストップトフローラピッドスキャン分光測定装置を導入し、さまざまな高速反応の反応速度測定など物性研究に用いられる。 |
電子スピン共鳴(ESR)装置
磁場中に置かれた試料にマイクロ波を照射することで、物質中の不対電子の量や種類、相互作用の様子を調べる。電子材料や高分子材料の物性評価から、食品の劣化や生体内反応の解明まで、幅広い分野で利用されている。 |
高速液体クロマトグラフ質量分析装置(LC-MS/MS)
大気圧イオン化飛行時間型質量分析装置(LC-TOF/MS)
ガスクロマトグラフ高性能飛行時間型質量分析装置(GC-TOF/MS)
HPLCあるいはGCで分離した物質をイオン化し、その相対質量電荷比を連続的に測定することで任意の保持時間でのマススペクトルを得ることができる。アジレント社製6470Triple Quad LC-MS、日本電子社製AccuTOF 4GLC-plusおよびAccuTOF GCXの3機種を設置している。